เกรดโอริง FFKM ของคุณต้องการ Etch หรือ CVD Chamber ใด

เหตุใด Etch และ CVD Chambers จึงต้องการเกรด FFKM ที่แตกต่างกัน

เนื่องจากสาเหตุหลักที่ทำให้เกิดความล้มเหลวนั้นแตกต่างไปจากเดิมอย่างสิ้นเชิง: ห้องกัดกรดจะฆ่าแมวน้ำทางเคมีผ่านการกัดเซาะของพลาสมา ในขณะที่ห้อง CVD จะฆ่าแมวน้ำด้วยความร้อนอย่างต่อเนื่องผ่านความร้อนอย่างต่อเนื่องและผลพลอยได้จากการสะสม

ในห้องกัดกรด ซีลจะอยู่ในโซนพลาสมา อนุมูลฟลูออรีนและการทิ้งระเบิดไอออนจะโจมตีพื้นผิวอีลาสโตเมอร์อย่างต่อเนื่อง ข้อมูลห้องปฏิบัติการอิสระแสดงช่องว่างอย่างชัดเจน: สารประกอบ FFKM ที่ต้านทานพลาสมาจะกัดกร่อนประมาณ 8.2 μm ต่อ 100 ชั่วโมงในพลาสมา CF₄/O₂ ในขณะที่ FKM มาตรฐานจะสูญเสียประมาณ 127.5 μm ภายใต้สภาวะเดียวกัน — ซึ่งแตกต่าง 15 เท่า ซีลที่ถูกกัดเซาะไม่เพียงแต่รั่วไหลเท่านั้น พวกมันปล่อยอนุภาคลงบนแผ่นเวเฟอร์ และอนุภาคมีราคาสูงกว่าซีลมาก

ห้อง CVD ลงโทษซีลต่างกัน โซนร้อนทำงานที่อุณหภูมิ 250–300 °C อย่างต่อเนื่อง และการทำความสะอาดพลาสมาระยะไกลเป็นระยะด้วย NF₃ จะเพิ่มความเครียดทางเคมีที่ด้านบน ในที่นี้เกรดจะต้องคงชุดการบีบอัดและการคืนตัวแบบยืดหยุ่นที่อุณหภูมิ เนื่องจากซีลที่แข็งและแบนจะรั่วทันทีที่ปั๊มห้องลง ข้อมูลการเสื่อมสภาพแบบ BAM ชี้ประเด็น: สารประกอบ FFKM อยู่รอดได้ 135 วันที่ 200 °C โดยที่ FKM ล้มเหลวที่ 75 วัน

โอริงยางมาตรฐานใน NBR หรือแม้แต่ FKM แทบจะไม่สามารถอยู่รอดได้ในสภาพแวดล้อมใดสภาพแวดล้อมหนึ่งเป็นเวลานาน ซึ่งเป็นเหตุผลว่าทำไมโรงงานจึงย้ายไปใช้เกรดเพอร์ฟลูออโรอิลาสโตเมอร์ตั้งแต่แรก แต่ "FFKM" เพียงอย่างเดียวไม่ใช่ข้อกำหนดเฉพาะ

ประเด็นสำคัญ: จับคู่เกรดกับตัวขับเคลื่อนความล้มเหลวที่โดดเด่น — ความต้านทานพลาสมาสำหรับการกัดกรด และเสถียรภาพทางความร้อนสำหรับ CVD — ไม่ให้ตรงกับป้ายราคา

คุณควรจับคู่เกรดกับเงื่อนไขกระบวนการของคุณอย่างไร

เริ่มจากรอบการทำงานจริงของห้องเพาะเลี้ยงของคุณ จากนั้นจึงขอข้อมูลการทดสอบที่พิสูจน์ว่าเกรดสามารถรองรับได้ ไม่ใช่ชื่อทางการตลาดในเอกสารข้อมูล

ทำงานผ่านการตรวจสอบหกครั้งก่อนที่จะผ่านการคัดเลือกเกรดใดๆ:

• อุณหภูมิต่อเนื่องและสูงสุด เกรด FFKM แบ่งออกเป็นคลาสต่อเนื่อง ~250 °C, ~300 °C และ ~335 °C โดยประมาณ โซนร้อน CVD ควรเลือกหนึ่งคลาสเหนือจุดปฏิบัติงานจริง

• การสัมผัสกับพลาสมา ซีลภายในโซนพลาสมาจำเป็นต้องมีข้อมูลการกัดเซาะ (μm/100h ในเคมีก๊าซของคุณ) ไม่ใช่เพียงฉลาก "ต้านทานพลาสมา"

• เคมีทำความสะอาด การทำความสะอาดพลาสมาระยะไกล NF₃ และการทำความสะอาดแบบเปียกจะโจมตีพันธะที่แตกต่างกัน ยืนยันเกรดรอดทั้งในด้านการบริการ

• ข้อมูลจำเพาะของอนุภาคและการปล่อยก๊าซออก สำหรับโหนดต่ำกว่า 14 นาโนเมตร ต้องการรายงานการชะล้างไอออนของโลหะ (ng/cm²) และบันทึกบรรจุภัณฑ์ในห้องปลอดเชื้อ

• ช่วงเปลี่ยนออก เปรียบเทียบราคาเกรดกับอายุการใช้งานของซีล: ชิ้นส่วนระดับ Kalrez ที่มีอายุการใช้งานนานกว่า 2–3× มักจะชนะด้วยต้นทุนรวมแม้ว่าราคาต่อหน่วยจะสูงกว่ามากก็ตาม

• คุณภาพของอุปทาน ต้องใช้ COA แบบแบตช์ การตรวจสอบย้อนกลับ และการบีบอัดที่สอดคล้องกันซึ่งตั้งค่าจากมากไปมาก ซึ่งเป็นจุดที่การนำเข้า FFKM ต้นทุนต่ำส่วนใหญ่ล้มเหลวจริง ๆ

OEM อุปกรณ์และทีมบำรุงรักษา fab ส่วนใหญ่ได้แบ่งการซื้อโอริง FFKM ออกเป็นสองตระกูลที่ผ่านการรับรอง — หนึ่งตระกูลที่ปรับให้เหมาะสมด้วยพลาสมา และหนึ่งปรับให้เหมาะสมทางความร้อน — แทนที่จะบังคับให้สารประกอบเดียวครอบคลุมทั้งสองตระกูล ระเบียบวินัยเป็นแบบเดียวกับที่วิศวกรไปป์ไลน์นำไปใช้กับวงแหวน ED: จับคู่สารประกอบกับตัวกลางและสภาพแวดล้อมจริง ไม่ใช่กับฉลากแค็ตตาล็อกทั่วไป เมื่อคุณซื้อสินค้าจากผู้ผลิตในจีน ให้ถือว่ารายการตรวจสอบคุณสมบัติข้างต้นไม่สามารถต่อรองได้: สอบถามโรงงานเกี่ยวกับข้อมูลการกัดเซาะและการบีบอัดเกี่ยวกับเคมีของคุณ ไม่ใช่เอกสารข้อมูลทั่วไป Tetlock Seal ให้คำแนะนำเกรดที่ตรงกับกระบวนการ ตัวอย่างพร้อมเอกสาร COA ฉบับสมบูรณ์ และสารประกอบ ODM แบบกำหนดเองสำหรับการออกแบบร่องที่ไม่ได้มาตรฐาน

สิ่งที่สำคัญที่สุด: ตรวจสอบคุณสมบัติเฉพาะสองเกรดแทนการใช้สารประกอบประนีประนอมเพียงตัวเดียว และทำให้ซัพพลายเออร์พิสูจน์ประสิทธิภาพด้วยข้อมูลการทดสอบเฉพาะด้านเคมี

คำถามที่พบบ่อย

ถาม: เกรด FFKM หนึ่งเกรดสามารถครอบคลุมทั้งเครื่องมือกัดกรดและ CVD ของเราได้จริงหรือ ตอบ: เป็นเพียงการประนีประนอมเท่านั้น เกรดอเนกประสงค์นั้นมีอยู่ แต่จะสูญเสียประสิทธิภาพที่ปลายทั้งสองข้าง โดยทั่วไปอายุการใช้งานในพลาสมาโซนหรือโซนร้อนจะสั้นกว่าคอมพาวนด์ที่ปรับให้เหมาะสมถึง 30–50% สำหรับเครื่องมือที่มีช่วง PM นาน เกรดที่ผ่านการรับรองสองเกรดจะมีราคาต่อเวเฟอร์น้อยกว่าหนึ่งเกรด

ถาม: ซีล FFKM มีอายุการใช้งานนานกว่า FKM ในการให้บริการพลาสมานานแค่ไหน ตอบ: ในการเปรียบเทียบการกัดเซาะของ CF₄/O₂ ที่เผยแพร่ FFKM จะสูญเสียประมาณ 8 ไมโครเมตรต่อ 100 ชั่วโมง เทียบกับ FKM ที่ประมาณ 127 ไมโครเมตร ในทางปฏิบัติ สิ่งนี้แปลเป็นช่วงเวลาการบริการหลายเท่าและเหตุการณ์ในห้องที่เกี่ยวข้องกับอนุภาคน้อยลงมาก

ถาม: คุณจัดหาขนาดที่กำหนดเองและสนับสนุนเอกสารคุณสมบัติหรือไม่ ก. ใช่. Kunshan Tetlock Sealing Technology Co., Ltd. นำเสนอซีล FFKM แบบกำหนดเองและ OEM/ODM ในส่วนตัดขวางที่ไม่ได้มาตรฐานและเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ พร้อม COA แบบแบตช์ วัสดุที่เป็นไปตามข้อกำหนด RoHS/REACH และตัวเลือกบรรจุภัณฑ์สำหรับห้องปลอดเชื้อสำหรับลูกค้าเซมิคอนดักเตอร์

รับคำแนะนำเกรดที่ตรงกับห้อง

ส่ง Tetlock Seal ประเภทห้องเพาะเลี้ยงของคุณ แปรรูปแก๊ส โปรไฟล์อุณหภูมิ และหมายเลขชิ้นส่วนซีลปัจจุบัน วิศวกรของเราจะส่งคืนเกรดที่แนะนำฟรีพร้อมข้อมูลการสึกกร่อนและการบีบอัด รวมถึงตัวอย่างสำหรับคุณสมบัติด้านเครื่องมือ โดยทั่วไปภายใน 48 ชั่วโมง ติดต่อโรงงานในจีนของเราเพื่อขอใบเสนอราคา OEM/ODM และดูว่าทำไมผู้ผลิตโรงงานและอุปกรณ์จึงสร้างมาตรฐานให้กับคอมปาวน์ Tetlock FFKM